나노기술교육과정 [교육과정]

나노소자공정

이론교육
나노소자 제작을 위한 공정기술 및 반도체 공정기술에 대한 기본적인 이론 교육을 통해 장비사용 등 현장에서 실무지식을 활용할 수 있는 능력을 갖춘 전문 인력 양성
- 1. MOSFET 개론 및 특정, 공정 집적화
- 2. 광소자 및 반도체 기반 태양전지 기술 개요
- 3. 노광,식각, 박막, 도핑 공정의 이해
- 4. 실리콘 소자의 이해
- 5. 화합물 반도체 재료기술, 광소자기반 및 응용 기술의 이해
- 6. OLED를 활용한 디스플레이 기술의 이해
- 7. 뉴로모픽 기술의 이해
실습교육
나노소자 제작을 위한 공정기술 및 반도체 공정기술에 대한 교육을 통해 장비사용 등 현장에서 실무지식을 활용할 수 있는 능력을 갖춘 전문 인력 양성
- 1. 실습교육을 통한 실제 장비운용 원리 및 방법 이해
- 2. 박막/식각/노광/도핑실습
- 3. 반도체 집적공정 , 소자 제작 및 전기적 특성 분석
- 4. 기관 특성에 따른 기관별 특화장비 활용실습

나노분광학

이론교육
다양한 나노물질의 기본 물성을 분석하고 측정평가하는 분광측정기술에 대한 전반적인 이해를 바탕으로 실제 분광측정 결과를 분석할 실무지식 습득
- 1. 분광학 개론,광발광(Photoluminescence; PL)
  라만분광/XPS 및 UPS/타원분광/적외선 및 테라헤르츠 분광
- 2. 각 분광분석 기술의 바탕이 되는 물리학적 원리를 설명하고, 이를 바탕으로 실제 측정결과를 분석하는 데 필요한 지식과 함께 다양한 나노물질에 대한 분석 예시 제공
실습교육
나노측정 및 분석기술의 원리와 분광분석 장비의 구조 및 사용법, 분석기법 습득을 통하여 나노 분야의 연구개발이 가능한 실무 능력이 배양된 전문 인력 양성
- 1. 다양한 분광 분석기법 이해, 다양한 시료의 전처리 및 시편 제작 방법 이해
- 2. 다양한 분광분석 장비의 종류와 원리 이해, 분광분석 장비의 운용 방법 습득
- 3. 분석 결과에 대한 이해, 분석 결과의 해석 및 활용 방법

나노현미경학

이론교육
나노 재료 및 소자 개발을 이끌 고급인력양성의 초석을 다지기 위하여 고분해능의 형태학적, 결정학적 및 화학적 정보 추출이 가능한 다양한 Microscopy 기반의 나노측정분석 이론교육
- 1. 주사전자현미경(SEM), 투과전자현미경(TEM), 집속이온빔장비(FIB), 주사탐침현미경(SPM), 원자탐침토모그래피(APT), X-선회절분석기(XRD) 등 핵심분석장비의 구조 및 동작원리
- 2. 각 핵심장비의 분석 대상 및 한계에 대한 이해
- 3. 각 핵심장비의 분석결과 해석 방법, 활용 사례 및 최신동향 소개
실습교육
나노 재료 및 소자의 측정 분석기술(현미경) 원리와 첨단 분석기기의 구조 및 사용법 습득을 통하여 고 분해능의 분석 기술을 갖춘 인력 양성
- 1. 주사전자현미경(SEM), 투과전자현미경(TEM), 주사탐침현미경(SPM), 접속이온빔장비(FIB), X-선 회절분석기(XRD) 등의 핵심 분석 장비의 동작원리 및 구조, 사용법 실습
- 2. 샘플 분석을 위한 시편 제작 과정 실습
- 3. 영상, 회절, 분광분석 등 각 기법 별 분석 실습
- 4. 전기적 특성 분석 실습

GOI 제작기술

이론교육
나노 트랜지스터의 단채널 효과를 극복하기 위하여 가장 중요한 인자인 게이트 절연막의 성능 평가에 대한 교육을 진행하여 GOI 공정 및 전기적 특성 습득
- 1. GOI 모듈 제작 공정의 이해
- 2. 게이트 절연막 형성 공정의 이해
- 3. 게이트 절연막의 절연 파괴 특성 이해
- 4. C-V, Dit 에 대한 이론적인 이해 및 측정 방법의 이해
- 5. EOT 추출방법에 대한 이해
실습교육
Gate Oxide Integrity 제작 실습 및 분석을 통해 CMOS 구조에 가장 중심이 되는 Gate Oxide의 특성 해석 및 반도체 180nm급 로직 소자 제조 공정기술 습득
- 1. GOI (Gate Oxide Integrity) 구조 이해
- 2. GOI 제작을 통한 반도체 제조공정 기술 습득
- 3. I-V, C-V 특성 측정을 통한 GOI 특성 해석

마이크로 LED

이론교육
마이크로 LED 기술의 공정과정(웨이퍼 제작, 칩 제작, 분리, 전사 공정과정)을 이해하고, 나아가 기존 공정의 문제점을 능동적으로 해결하거나 개선할 수 있는 기반지식 습득
- 1. 마이크로 LED/나노 LED 기술개요, 기술 동향 및 응용
- 2. 마이크로 LED 칩의 구조, 제조 공정, 특성 이해
- 3. 마이크로 LED 백플레인 구조 및 제조 공정 이해
- 4. 마이크로 LED 패널 화소 구조, 구동, 공정, 특성 이해
실습교육
LED 기술을 바탕으로 최근 활용되는 마이크로 LED의 원리 및 소자 제작을 위한 기본 공정을 이해하여 기존 LED와 차별화된 기술 습득
- 1. 마이크로 LED의 활용 분야 및 발전 방향 이해
- 2. 마이크로 LED 제작을 위한 기본 공정 실습
- 3. 사파이어웨이퍼를 활용한 에피성장, 패턴형성, 식각, 박막형성 공정 실습
- 4. 마이크로 LED 칩 분리를 위한 후공정, 측정분석 실습
- 5. 제작된 칩의 전사를 위한 공정 실습
- 6. 기존 LED 공정기술과 차별화된 기술 이해
- 7. 마이크로 LED 양산 기술의 어려운 점과 해결 과제 이해

TEM 고급활용기술

이론교육
시료의 국소영역으로부터 고분해능의 구조적, 결정학적 및 화학적 정보 추출이 가능한 나노측정분석 핵심장비인 투과전자현미경(TEM) 분석의 심화 이론교육 제공
- 1. TEM의 구조 및 동작원리에 대한 기본이론
- 2. TEM 영상 기법(영상 콘트라스트, 고분해능 이미징, 결함분석)
- 3. STEM 기법, 이미지 전산모사 및 분광분석(EDS/EELS)
- 4. In situ 기법 소개 및 시편준비 방법 이해
실습교육
나노 소재/소자 측정장비인 투과전자현미경 (TEM)활용하여 초미세영역을 분석할 수 있도록 장비의 원리 및 분석기술 습득
- 1. 투과전자현미경(TEM)의 작동 원리 및 구조, 전자현미경 사용법 실습
- 2. TEM 시편 전처리 과정 실습
- 3. TEM을 활용한 이미지 측정 실습
- 4. 패턴 측정 및 성분 분석 실습

MEMS 센서

이론교육
MEMS 나노소자 제작을 위한 공정기술의 전반적인 이해와 실무 지식, 반도체 미세가공 기술을 바탕으로 MEMS 센서 제작기술 습득
- 1. MEMS 센서의 개요, 주요핵심 기술의 이해
- 2. MEMS 센서 미세공정 기술의 이해
- 3. 소자 설계 기술 및 신호 처리회로에 대한 학습
- 4. MEMS 센서 평가 기술의 이해
- 5. 물리 센서/광학 센서/바이오 센서 응용에 대한 폭넓은 학습
실습교육
MEMS 센서 소자 제작을 위한 MEMS 공정기술의 전반적인 이해와 실무지식 습득 및 소자 제작 실습
- 1. 센서 제작용 Photo(Lithography) 공정
- 2. 적외선 감지용 소자 VW 증착 / 열처리 공정
- 3. 적외선 센서 구조를 위한 SiN박막 증착 공정
- 4. 적외선 센서 구조 확인을 위한 SEM 분석

OLED

이론교육
나노소자 제작을 위한 공정기술 및 디스플레이 공정기술에 대한 장비사용 및 현장에서 활용할 수 있는 실무지식 습득
- 1. 유기물 반도체 OLED 디스플레이 개론 학습
- 2. 박막트랜지스터 개론 학습
- 3. OLED 소자물리에 대한 이해
- 4. 잉크젯개론 및 QD 패터닝 기술의 이해
실습교육
OLED 공정장비를 이용하여 디스플레이 핵심 기술 OLED 소자 제작을 위한OLED 공정기술의 전반적 이해와 실무지식 습득 및 소자 제작 실습
- 1. 증착/노광공정 실습
- 2. OLED 소자 제작 및 특성 평가
- 3. 기관별 특성에 따른 OLED 실습공정

광반도체-광소자

이론교육
평판형 광소자의 동작원리, 연구동향, 이슈 등을 학습하고, 실제 공정에서 수행되는 각 공정에서의 장단점에 대한 평판형 광소자 제작공정 지식 습득
- 1. 반도체 광학 기초 학습
- 2. 발광 다이오드 동작원리 및 응용 분야 소개
- 3. 반도체 레이저 기본개념 및 연구동향 학습
- 4. 반도체 광검출기의 개요 및 제작 방법 학습
- 5. 광도파소자의 기본적 원리 이해 및 특성 분석 방법 학습
실습교육
- 평판형 광소자 제작 공정에 관한 심화교육, 공정
- 조건별 광소자 특성변화 관찰, 광소자 공정장비
- 심화 교육, 공정 단계별 실습
- 1. 투과전자현미경(TEM)의 작동 원리 및 구조, 전자현미경 사용법 실습
- 2. TEM 시편 전처리 과정 실습
- 3. TEM을 활용한 이미지 측정 실습
- 4. 패턴 측정 및 성분 분석 실습

차세대 태양전지

이론교육
페로브스카이트 태양전지의 동작원리, 연구동향, 이슈 등에 태양전지 기술에 대한 전반적인 개요와 기존 기술의 문제점 및 해결방안, 상용화, 공정기술 습득
- 1. 태양전지 기초이론에 대한 학습
- 2. 단일접합 페로브스카이트 태양전지 기술의 이해
- 3. 페로브스카이트 기반 탠덤 태양전지 기술의 이해
- 4. 페로브스카이트 태양전지 소자 공정 기술의 이해
실습교육
차세대 태양전지로 주목받는 페로브스카이트 태양전지 제조 공정 실습을 통해 태양전지 공정기술 및 소자동작 원리를 이해하고 공정에 사용된 장비 운용기술 습득
- 1. 차세대 태양전지 기초 및 공정 교육
- 2. Back Electrode Deposition 실습
- 3. 태양전지의 소자 특성 평가 실습
- 4. 내환경 신뢰성 평가 실습
- 5. XRD 작동 원리 및 결정성, 결정구조 분석

180 nm Logic 제작 교육

180 nm Logic 제작 교육
이공계 졸업예정자 및 미취업자를 대상으로 반도체 소자공정 장비를 활용한 산업현장 맞춤형 교육을 통해 경력화된 반도체 전문기술인력 양성
- 1. 반도체 제조 8대공정 중 소자제조공정 분야 기초 이론교육
- 2. 반도체 180nm logic 공정장비 조별순환 실습교육, Photo Lithography 장비 및 공정 실습 : Dry Etcher / Thin Film (CVD/PVD) / Diffusion (Ionimplantation/Furnace/RTP) / Wet Station, CMP
- 3. PM(Project Manager)제 통한 반도체 주요 소자제작 실습: ISO, Gate, Contact 등 반도체 주요 구조를 Runsheet에 따라 직접 제작

화합물반도체 소자 제작

화합물반도체 소자 제작 기술 교육
이공계 미취업자를 대상으로 4차 산업혁명 핵심 분야인 반도체·소자의 전문인력을 양성하기 위해 한국나노기술원의 첨단장비와 경험이 많은 연구 인력을 통하여 산업현장에서 필요로 하는 전문기술 인력양성
- 1. 나노융합 소자·공정 교육 실시 : 기초, 반도체·소자 공정·장비 교육,반도체·소자개론 등
- 2. 반도체·소자 공정장비, 반도체·소자 제작을 위한 공정 실습교육
- 3. 교육생들의 취업 연계를 위한 취업 지원 교육(취업 교육, 기업탐방 등)
- 4. 반도체·소자 분야의 전문 지식 습득 전문 실습과정

나노소자 공정 및 특성

나노소자 공정∙분석 교육
이공계 미취업자를 대상으로 4차 산업혁명 핵심 분야인 반도체‧센서 전문교육과 첨단 장비를 활용한 산업현장 맞춤형 교육을 통해 경력화된 전문기술인력양성
- 1. 나노융합 소자·공정 : 반도체 및 공정장비 교육, 반도체 센서 개론
- 2. 반도체·센서 공정장비 실습교육
- 3. 분석장비를 통한 나노 구조 및 성분분석 실습
- 4. 반도체 센서칩 제작 과정
- 5. 취업 교육 : 자소서 첨삭, 모의 면접 및 기업 동향 파악
- 6. 실습교육을 통한 실제 장비운용 원리·방법 이해

차세대 디스플레이

차세대 디스플레이 실습교육
이공계 대상 미취업자를 대상으로 차세대 디스플레이 및 인쇄전자 실무 관련 지식과 인성을 겸비한 현장중심의 엔지니어 양성
- 1. 차세대 디스플레이 소자 ㆍ 공정 : 디스플레이 ㆍ 인쇄전자 분야 사전 기초 및 개론
- 2. 핵심공정 실습교육 : 팹안전교육, 포토공정, 증착공정, 인쇄전자공정, 계측/분석 장비 교육
- 3. 차세대 디스플레이 소자 제작 실습교육 : Oxide TFT 제작 공정, Flexible OLED 제작 공정 및 분석 실습교육

광반도체·광소자

광반도체-광소자 전문인력양성
이공계 대상 미취업자를 대상으로 광산업 주력모델인 평판형 광소자 및 광센서 공정교육을 나노기술집적센터의 최첨단 나노설비와 전문 교육인력을 갖춘 실습 교육환경을 이용하여 전문기술 인력양성
- 1. 평판형 광반도체 수동 소자 및 광센서 전문기술 교육 과정
- 2. 광소자 공정교육 : 광수동소자 원리, 공정장비 교육, 광소자/센서 특성 분석
- 3. 광소자·센서 공정장비 실습
- 4. 평판형 광반도체 수동소자 및 광센서 제작

차세대 반도체·디스플레이소자 제조공정

나노소재 기반 첨단 소자 제조 및 신뢰성 공정 교육
이공계 대상 미취업자를 대상으로 나노첨단복합소재에 대해 이해하고 이를 이용한 소자 및 응용제품 제조 공정과 신뢰성 전문 장비를 운용 할 수 있는 전문기술 인력양성
- 1. 나노구조, 광학, 성분 분석 등 기초 교육을 통한 분석 및 측정 장비 이해
- 2. 나노복합소재 제조 및 공정장비 실습
- 3. 품질관리·신뢰성 분석 및 결과 해석을 통한 소재특성 향상 이해

반도체 측정·구조/정성분석·불량분석

반도체 측정·구조/정성분석·불량분석 실습교육
이공계 졸업예정자 및 미취업자를 대상으로 반도체분야 측정분석 장비를 활용한 산업현장 맞춤형 교육을 통해 경력화된 측정분석 전문 기술인력 양성
- 1. 측정분석·구조/정성분석·불량분석 분야 기초 이론교육
- 2. 측정 분석 장비 부문별 장비순환교육 : 측정 장비 , 구조 분석 장비 , 정성 분석 장비 , FAILURE ANALYSIS
- 3. 담당연구원 멘토링에 의한 심화교육 : 반도체팹 현장의 공정 문제 관련 분석 실습

반도체 나노소자 측정분석

반도체·나노소자 측정분석기술 실습교육
이공계 대상 미취업자를 대상으로 4차 산업혁명 핵심 분야인 반도체·나노소자의 전문교육과 첨단 측정·분석 장비를 활용한 산업현장 맞춤형 교육을 통해 교육생이 직접 측정분석 장비를 사용할 수 있는 능력을 갖춰 기업에서 필요로 하는 전문 인력양성
- 1. 나노소자 및 소재 측정/분석 기술 이해 및 사용법 실습
- 2. 측정/분석 장비를 활용한 다양한 분석 방법 실습
- 3. 샘플 준비를 위한 시편 제작 실습
- 4. 다양한 소자의 불량 분석 기술 이해
- 5. 교육생들의 취업 연계를 위한 취업 지원 교육(취업 교육, 기업탐방 등)

공정 시뮬레이션

공정 시뮬레이션 실습교육
나노소자·공정 이론-실습교육을 수료한 교육생을 대상으로 진행, 전력반도체 소자의 역할과 동작 원리, 요구되는 특성 등 기초 지식 이론 강의 후 실습 진행(오프라인 실습교육, 3일간 실시)
- 1. 공정/소자 Simulator 구성 및 내용
- 2. Atlas Device Simulation 연습
- 3. Device Simulation
- 4. SiC and Si Power Device